тетраэтилортосиликат

тетраэтилортосиликат

 

тетраэтилортосиликат
ТЭОС
Si(OC2H5)4
 Газообразный реагент, обычно используемый в процессах химического осаждения SiO2 из паровой фазы; обеспечивает хорошую конформность покрытия; относительно инертное вещество, жидкое при комнатной температуре; термически разлагается при температуре около 700 oC с образованием SiO2; при дополнительном использовании плазмы температура осаждения уменьшается до значения ниже 500 oC.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

Синонимы

  • ТЭОС

EN

  • TEOS


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Игры ⚽ Поможем написать курсовую

Смотреть что такое "тетраэтилортосиликат" в других словарях:

  • КРЕМНИЙОРГАНИЧЕСКИЕ ПОЛИМЕРЫ — силиконы, представляют собой большую группу разнообразных жидкостей, каучуков и смол. Все они содержат кремний, связанный с органическим углеродом непосредственно или через кислород (полиорганосилоксаны). Кремнийорганические полимерные жидкости… …   Энциклопедия Кольера

  • ТЭОС — тетраэтилортосиликат хим. Источник: http://www.penta 91.ru/teos.htm ТЭОС ТЭС тетраэтоксисилан хим. ТЭОС Источник: http://www.penta 91.ru/teos.htm ТЭС Источник: www.house floor.info/ar …   Словарь сокращений и аббревиатур

  • ПАУКООБРАЗНЫЕ — или арахниды (Arachnida), класс, принадлежат к типу членистоногих. Подавляющее большинство видов – сухопутные, хотя известны некоторые вторичноводные клещи. Паукообразные родственны ракообразным и насекомым, но четко отличаются от тех и… …   Жизнь насекомых


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»